• <cite id="kzug1"></cite>

  • <rt id="kzug1"></rt>
    1. <tt id="kzug1"></tt>

      1. 聚焦于微電子行業 · 新能源組件 · 汽車零部件行業 激光微細切割 · 鉆孔 · 蝕刻 · 劃片 · 開槽 · 微細結構應用 高功率激光焊接 · 清洗 · 熔覆
        • English
        • 日本語
        • 中文
        微細精密切割鉆孔系統
        網站首頁 > 皮秒激光微細加工系統 > 微細精密切割鉆孔系統

        皮秒激光全自動晶圓劃片機
        皮秒激光全自動晶圓劃片機
        • 詳情
        • 視頻
        • 下載
        • 應用

        型號:Honor series 6040


        晶圓劃片效果圖:

        2016042814421692573.jpg


        行業應用:

        半導體集成電路,包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,IC晶圓切割劃片。



        機器優點:

        1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭, 聚焦光束直徑小到3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應,對芯片電路無損傷。

        2、劃片速度高達500mm/s, 對于厚度1mm內樣品,激光劃線僅需一次即可折斷。

        3、CCD視覺預掃描&自動抓靶定位、最大加工范圍650mm×450mm、XY平臺拼接精度≤±3μm

        4、無錐度切割、最小崩邊3μm, 邊緣光滑。

        5、支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。

        6、8年激光微細加工系統研發設計技術積淀、性能穩定、2萬小時無耗材。

        7、機械手全自動上下料系統,節省人力成本。


        皮秒激光劃片原理(透明材料內聚焦爆裂切割):

              通過貝塞爾或DOE光學系統,把高斯激光光束壓縮到衍射極限,在100-200KHz高重復頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下,聚焦光斑直徑小至3μm,具有非常高的峰值功率密度,其在透明材料內部聚焦時,瞬間氣化該區域材料從而產生一個氣化帶,并向上下兩表面擴散形成非線性裂紋,從而實現對材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍寶石和半導體硅片(紅外輻射是能夠透射半導體硅材料的)都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。



        技術規格參數

        序號項目技術參數
        光學單元
        1激光器類型1064nm  10ps  200KHz
        2冷卻方式恒溫水冷
        3激光功率50W
        4光束質量M2<1.3
        5聚焦方式&加工頭數單點聚焦鏡、單頭
        6最小聚焦光斑直徑

        Ф3μm

        激光加工性能
        7加工速度100~1000mm/s可調
        8最小崩邊3μm
        9最大加工材料厚度1mm
        10最大加工尺寸&精度12inches, ±5μm
        機械單元
        11機床結構龍門式
        12機床運動軸數&種類最多8軸,  X,Y,  Z, &θ軸
        13平臺最大行程&速度650mm×450mm
        1000mm/s
        14運動平臺重復精度

        ±1μm

        15運動平臺定位精度

        ±3μm

        軟件控制單元
        16激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongcut
        17加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
        18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
        19CCD視覺定位精度±3μm
        電器單元
        20PLC控制器Panasonic
        21真空系統真空泵
        22除塵&集塵系統專業粉塵過濾集成凈化機
        自動化單元
        23自動上下料系統X\Z軸+可移動上下料平臺
        安裝環境
        24整機供電&穩壓器功率220V\380V,6KW
        25壓縮空氣壓強

        0.6MPa

        26無塵室等級10000
        27地面承重 2T/m2
        28保護氮氣高純氮





        事業部負責人:


        吳先生 13686046555

         

        王先生? 18617211708


        劉小姐 15989907208


        E-mail:yf@stronglaser.com


        點擊次數:  更新時間:2018-04-04 14:43:46  【打印此頁】  【關閉

        事業部負責人:


        吳先生 13686046555

         

        王先生? 18617211708


        劉小姐 15989907208


        E-mail:yf@stronglaser.com


        欧美av在线