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        金屬薄膜蝕刻系統
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        厚膜&薄膜電路激光蝕刻機
        厚膜&薄膜電路激光蝕刻機
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        型號:SC-K600  


        銀漿、ITO蝕刻樣品:

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        行業應用:

        1、電阻式、電容式觸摸屏銀漿線路蝕刻、修復。

        2、ITO及各類金屬導電膜線路激光蝕刻。

        3、PCB行業薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型。

        4、太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻。


        機器優點:

        1、激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%。

        2、最小蝕刻線寬20μm,支持銀漿線路和ITO一次性同時蝕刻,輕松實現單層多點電容屏sensor線路蝕刻。

        3、CCD視覺自動尋靶,一次性可加工650mm×550mm范圍,拼接精度±3μm。

        4、支持多種視覺定位特征,500萬像素單點抓靶時間小于1秒鐘,克服了印刷變形過大導致激光蝕刻偏位的問題,定位精度±3μm。

        5、激光蝕刻機5萬小時無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。



        技術規格參數

        序號項目技術參數
        光學單元
        1激光器類型532,1064nm(納秒&皮秒)可選
        2激光功率20W
        3光束質量M2<1.3
        4聚焦方式&加工頭數平場聚焦鏡、單頭
        5最小聚焦光斑直徑

        Ф18μm

        激光加工性能
        6加工速度1000~4000mm/s可調
        7最小蝕刻線寬20μm
        8蝕刻線寬精度±1.5μ
        9激光單次最大工作范圍

        130mm×130mm,20μ

        170mm×170mm,35μ線寬

        10激光蝕刻最大工作范圍650mm×550mm任意自動拼接
        11激光蝕刻線路拼接精度≤±3μm
        機械單元
        12機床結構立柱&龍門式
        13機床運動軸數&種類 最多8軸,  X,Y,  Z, & θ軸
        14平臺最大行程&速度650mm×550mm,800mm/s
        15運動平臺重復精度≤±1μ
        16運動平臺定位精度≤±3μ
        軟件控制單元
        17激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongsmart
        18加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
        19CCD視覺定位軟件 AISYS Vision
        20CCD視覺定位精度≤±3μm
        電氣單元
        21真空系統真空發生器
        22 除塵&集塵系統離心式風機
        安裝環境
        23整機供電&穩壓器功率220V\380V,5KW
        24壓縮空氣壓強≥0.6MPa
        25無塵室等級10000
        26地面承重2T/m2




        事業部負責人:


        昌先生 18617211710


        李先生 18666495767


        楊先生 13751468572



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