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      1. 聚焦于微電子行業 · 新能源組件 · 汽車零部件行業 激光微細切割 · 鉆孔 · 蝕刻 · 劃片 · 開槽 · 微細結構應用 高功率激光焊接 · 清洗 · 熔覆
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        微細加工系統工作站
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        皮秒激光微細加工系統
        皮秒激光微細加工系統
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        型號:Honor series6541


        切割、鉆孔樣品:

        盛雄激光-2.jpg

            陶瓷 13.42mm×6.42mm                 玻璃 11.6mm×11.6mm                軟陶瓷鉆孔:  Φ25μm 真圓度 ≥95%  Φ25μm小孔3D分析圖


        行業應用:

        藍寶石&玻璃蓋板、光學玻璃、半導體封裝芯片、藍寶石&硅晶圓&陶瓷基板等脆性材料,熱敏感的高分子&無機材料,微細鉆孔,切割。

        具體應用比如:

        1、手機蓋板和光學鏡頭外形切割                 5、精密微細齒輪切割

        2、半導體集成電路芯片切割                        6、發動機噴油嘴微鉆孔

        3、光學鏡片外形切割鉆孔                           7、液晶面板切割

        4、精密傳感器微細鉆孔                               8、有機&無機材料新型柔性顯示或微細電子電路蝕刻&切割


        機器優點:

        1、采用皮秒或者飛秒激光器,超短脈沖加工幾乎無熱傳導,適于任意有機&無機材料的高速切割與鉆孔,最小3μm的崩邊和熱影響區。

        2、采用單激光器雙光路分光技術,雙激光頭加工,效率提升一倍。

        3、CCD視覺預掃描&自動抓靶定位、最大加工范圍650mm×450mm 、XY平臺拼接精度≤±3μm。

        4、支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。

        5、自動裂片清洗、視覺檢測分揀、機器人自動上下料。

        6、8年激光微細加工系統研發技術積淀、世界一線品牌關鍵零組件選型,連續7×24小時無故障工作,實際產能更高。



        技術規格參數

        序號項目技術參數
        光學單元
        1激光器類型355、532、1064nm可選 10ps
        2冷卻方式恒溫水冷
        3激光功率10~100W
        4光束質量M2<1.3
        5聚焦方式&加工頭數單點&平場聚焦鏡、雙頭
        6最小聚焦光斑直徑

        Ф3--15μm

        激光加工性能
        7加工速度100~3000mm/s可調
        8最小崩邊3μm
        9最大加工材料厚度2mm
        10最大加工尺寸&精度12inches±5μm
        機械單元
        11機床結構龍門式
        12機床運動軸數&種類最多8,  X,Y,  Z, &θ軸
        13平臺最大行程&速度650mm×450mm,800mm/s
        14運動平臺重復精度≤±1μm
        15運動平臺定位精度≤±3μm
        軟件控制單元
        16激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongsmart
        17加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
        18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
        19CCD視覺定位精度≤±3μm
        電氣單元
        20PLC控制器Panasonic
        21真空系統真空泵
        22除塵&集塵系統專業粉塵過濾集成凈化機 
        自動化單元
        23自動上下料系統X\Z軸+可移動上下料平臺
        高級可選單元
        24AOI視覺檢測8--12寸大片/3min
        25自動裂片功能8--12寸大片/3min
        26自動清洗分選8--12寸大片/3min
        安裝環境
        27整機供電&穩壓器功率220V\380V,8KW
        28壓縮空氣壓強0.6MPa
        29無塵室等級10000
        30地面承重 2T/m2
        31保護氮氣 高純氮





        事業部負責人:


        吳先生 13686046555


        曾先生 18617211701


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